Logo
Unioonpeedia
Side
Hankige see Google Play
Uus! Lae Unioonpeedia oma Android ™!
Free
Kiiremini kui brauser!
 

Elektronkiirlitograafia

Index Elektronkiirlitograafia

Elektronkiirlitograafia on fotolitograafiast välja arenenud eraldiseisev tehnoloogia pooljuhtmaterjalide tööstuses mikrokiipide valmistamiseks.

32 suhted: Adsorptsioon, Elektron, Elektronvolt, Fotolitograafia, Fotoresist, Hape, Ioon, Keemiline side, Kiip, Kopolümeer, Lahusti, Lahustuvus, Lahutusvõime, Lainepikkus, Molekulmass, Nanolitograafia, Nanotehnoloogia, Orgaanilised ühendid, PMMA, Polümeerid, Polümerisatsioon, Pooljuht, Pooljuhtplaat, Räni, Röntgenikiirgus, Ristseos, Süsivesinikud, Skaneeriv elektronmikroskoop, Tihend, Ultraviolettkiirgus, Vaakum, Väljatransistor.

Adsorptsioon

Adsorptsioon on aatomite, ioonide, biomolekulide, gaasiliste, vedelate ning lahustunud molekulide adhesioon pinnale.

Uus!!: Elektronkiirlitograafia ja Adsorptsioon · Näe rohkem »

Elektron

Elektron on elementaarosake (tähis e&minus).

Uus!!: Elektronkiirlitograafia ja Elektron · Näe rohkem »

Elektronvolt

Elektronvolt on SI-süsteemi väline energia mõõtühik, mis on laialt kasutusel elementaarosakeste, tuuma-, aatomi- ja tahkisefüüsikas.

Uus!!: Elektronkiirlitograafia ja Elektronvolt · Näe rohkem »

Fotolitograafia

Fotolitograafia ehk optiline litograafia on pooljuhttehnoloogia protsess, kus kujutis kantakse alusmaterjali ehk substraadi pinnale.

Uus!!: Elektronkiirlitograafia ja Fotolitograafia · Näe rohkem »

Fotoresist

Fotoresist (ingl k photoresist) ehk fotolakk (saksa k Fotolack) on polümeerne valgustundlik materjal, mida kasutatakse fotolitograafia protsessides integraaallülituste ja trükkplaatide valmistamisel.

Uus!!: Elektronkiirlitograafia ja Fotoresist · Näe rohkem »

Hape

Hape on keemiline aine, mis vesilahustes dissotsieerudes (lagunedes) annab lahusesse vesinikioone.

Uus!!: Elektronkiirlitograafia ja Hape · Näe rohkem »

Ioon

O3−)) ioonis. Punase värviga piirkonnad on madalama energiaga kui kollase värviga piirkonnad Ioon on molekulaarüksus, mis enamasti tekib aatomist või molekulist ionisatsiooni käigus.

Uus!!: Elektronkiirlitograafia ja Ioon · Näe rohkem »

Keemiline side

Keemiline side on side, mis ühendab aatomeid üksteisega.

Uus!!: Elektronkiirlitograafia ja Keemiline side · Näe rohkem »

Kiip

trükkplaadil Mitmesuguste väljaviikudega kiipe Kiip (ka mikrokiip) on väike räniplaat, mille pindkihis on pooljuhttehnoloogia kohaselt moodustatud integraallülitus.

Uus!!: Elektronkiirlitograafia ja Kiip · Näe rohkem »

Kopolümeer

Kopolümeer ehk heteropolümeer on selline polümeer, mille molekulides esinevad kahele või enamale monomeerile vastavad lülid.

Uus!!: Elektronkiirlitograafia ja Kopolümeer · Näe rohkem »

Lahusti

Lahusti on aine (tavaliselt vedelik), mis on võimeline lahustama teisi aineid – vedelikke, gaase või tahkeid aineid.

Uus!!: Elektronkiirlitograafia ja Lahusti · Näe rohkem »

Lahustuvus

Lahustuvuseks nimetatakse tahke, vedela või gaasilise aine ehk solvaadi omadust moodustada tahke, vedela või gaasilise solvendiga homogeenne lahus.

Uus!!: Elektronkiirlitograafia ja Lahustuvus · Näe rohkem »

Lahutusvõime

Lahutusvõime tähendusi teaduse ja tehnika eri valdkondades.

Uus!!: Elektronkiirlitograafia ja Lahutusvõime · Näe rohkem »

Lainepikkus

Siinusvõnkumise lainepikkus \scriptstyle \lambda Lainepikkuseks nimetatakse füüsikas kaugust kahe teineteisele lähima samas faasis võnkuva punkti vahel.

Uus!!: Elektronkiirlitograafia ja Lainepikkus · Näe rohkem »

Molekulmass

Molekulmass ehk suhteline molekulmass (vananenud nimetus molekulaarmass) on arv, mis näitab, mitu korda on ühe molekuli mass suurem kui aatommassiühik (amü).

Uus!!: Elektronkiirlitograafia ja Molekulmass · Näe rohkem »

Nanolitograafia

Nanolitograafia on nanotehnoloogia haru, mis tegeleb nanoelektroonika komponentide valmistamisega, mida kasutatakse mikroprotsessorites, mäludes, rakendusotstarbelistes mikroskeemides (integrated circuit).

Uus!!: Elektronkiirlitograafia ja Nanolitograafia · Näe rohkem »

Nanotehnoloogia

Nanotehnoloogia on teaduse ja tehnika haru, mis tegeleb väga väikeste (umbes nanomeetri suurusjärgus mõõtmetega) materjalide ja masinate, sealhulgas nanorobotite uurimise ja loomisega.

Uus!!: Elektronkiirlitograafia ja Nanotehnoloogia · Näe rohkem »

Orgaanilised ühendid

Orgaanilised ühendid on keemiliste ühendite klass, mille molekulides esinevad lühemad (alates ühest) või pikemad süsinikuaatomitest moodustunud ahelad.

Uus!!: Elektronkiirlitograafia ja Orgaanilised ühendid · Näe rohkem »

PMMA

PMMA (polümetüülmetakrülaat) ehk akrüülklaas (triviaalne nimetus) on läbipaistev jäik termoplastne materjal laialdaselt kasutatud purunemiskindla tavalise klaasi asendusena.

Uus!!: Elektronkiirlitograafia ja PMMA · Näe rohkem »

Polümeerid

Polümeerid on kõrgmolekulaarsed ühendid, mille makromolekulid koosnevad kovalentsete sidemetega seotud korduvatest struktuuriühikutest – monomeersetest lülidest.

Uus!!: Elektronkiirlitograafia ja Polümeerid · Näe rohkem »

Polümerisatsioon

Stüreeni polümerisatsioon Polümerisatsioon ehk polümeerumine ehk polümeriseerumine on keemiline protsess, milles madalmolekulaarse ühendi (monomeeri M) molekulid ühinevad üksteisega moodustades kõrgmolekulaarse (makromorekulaarse) ühendi, milles üksteisele järgnevalt (lineaarsete ahelatega polümeer) või hargnevalt (hargnevate ahelatega polümeer) on keemiliselt seotud väga suur arv monomeerile vastavaid elementaarlülisid: nM → (-M)n– Täielikus molekulaarvalemis esinevad lisaks polümeersele põhiahelale ka otsmised rühmad.

Uus!!: Elektronkiirlitograafia ja Polümerisatsioon · Näe rohkem »

Pooljuht

Pooljuht on aine, mille elektrijuhtivus on halvem kui elektrijuhil ja parem kui dielektrikul.

Uus!!: Elektronkiirlitograafia ja Pooljuht · Näe rohkem »

Pooljuhtplaat

Poleeritud 300 ja 150 mm pooljuhtplaadid. Täkked plaatides tähistavad kristallide orientatsiooni mikrokiibiks pakkimist Elektroonikas on pooljuhtplaat või pooljuht vahvel (Inglise keeles wafer) õhuke pooljuhi, näiteks ränikristalli, viilukujuline toorik.

Uus!!: Elektronkiirlitograafia ja Pooljuhtplaat · Näe rohkem »

Räni

Räni Räni on keemiline element Mendelejevi tabelis aatomnumbriga 14 ja sümboliga Si.

Uus!!: Elektronkiirlitograafia ja Räni · Näe rohkem »

Röntgenikiirgus

Röntgenikiirgus on elektromagnetkiirgus lainepikkuste vahemikus 0,01–10 nm.

Uus!!: Elektronkiirlitograafia ja Röntgenikiirgus · Näe rohkem »

Ristseos

Ristseos on side, mis ühendab ühe polümeerahela teisega.

Uus!!: Elektronkiirlitograafia ja Ristseos · Näe rohkem »

Süsivesinikud

Süsivesinikud on keemilised ained, mille molekul koosneb ainult süsiniku- ja vesinikuaatomitest.

Uus!!: Elektronkiirlitograafia ja Süsivesinikud · Näe rohkem »

Skaneeriv elektronmikroskoop

Mikroskoopiline struktuur on valmistatud alumiiniumist alusele fokuseeritud ioonkiirega ning "fotografeeritud" skaneeriva elektronmikroskoobiga, kasutades sekundaarseid elektrone. Nagu skaalalt näha, on valmistatud struktuur nii pisike, et see võiks mahtuda juuksekarvale. Pilt valmis Tartu Ülikooli füüsika instituudis läbi viidud praktikumi raames, kus tipptehnoloogia demonstreerimise teemaks oli "Eesti Vabariik 100" Neid õietolmuterasid on skaneeritud elektronmikroskoobiga näitamaks mikrograafi teravussügavust Tihti värvitakse saadud pilte eesmärgiga lihtsustada struktuuride mõistmist. Sageli tehakse seda ka esteetilistel kaalutlustel. Pildil on üheidulehelise taime ''Tradescantia'' tolmukakarvad ja õietolm. Autor: Heiti Paves, TTÜ Skaneeriv elektronmikroskoop (lühend SEM) on mikroskoop, mis loob kujutise uuritavat proovi suure energiaga elektronikiire abil skaneerides.

Uus!!: Elektronkiirlitograafia ja Skaneeriv elektronmikroskoop · Näe rohkem »

Tihend

Tihendeid Tihend on tahke keha, mis on ette nähtud liikuvate ja mitteliikuvate liidete tihendamiseks.

Uus!!: Elektronkiirlitograafia ja Tihend · Näe rohkem »

Ultraviolettkiirgus

Laborivahendite steriliseerimine kasutades UV-kiirgust Ultraviolettkiirgus ehk UV-kiirgus on elektromagnetkiirgus, mille lainepikkus on väiksem kui nähtaval valgusel (piirneb violetse valgusega) ja suurem kui röntgenikiirgusel.

Uus!!: Elektronkiirlitograafia ja Ultraviolettkiirgus · Näe rohkem »

Vaakum

Vaakum ehk vaakuum (ladina vacuum 'tühi') on olek, kui mingis ruumis puudub aine (sealhulgas õhk ja muud gaasid).

Uus!!: Elektronkiirlitograafia ja Vaakum · Näe rohkem »

Väljatransistor

Väljatransistor (ka välitransistor, kanaltransistor) on pingega tüüritav transistor.

Uus!!: Elektronkiirlitograafia ja Väljatransistor · Näe rohkem »

VäljuvSaabuva
Hei! Oleme Facebookis nüüd! »